芯米半导体“一种掩模板清洗机的夹持机构”专利获授权

芯米（厦门）半导体设备有限公司近日获得一项实用新型专利——“一种掩模板清洗机的夹持机构”（授权公告号：cn111880369b，授权公告日：2024年11月5日，申请日：2020年7月31日）。

该专利设计了一种创新的掩模板清洗机夹持机构，其核心在于改进的调节机构。该机构包含底板和垫板，通过手轮、齿条、传动齿轮、调速齿轮及螺杆的协同作用，实现移动块的垂直移动。同时，移动块驱动传动块和转块，而转块再通过拉绳带动滑块和中空夹板向内移动，最终实现对夹持板的精确调节。此外，卡杆与手轮侧面的卡槽配合，确保中空夹持板的固定。此设计显著提升了夹持机构调节的效率和精度，简化了操作流程，提高了工作效率。

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